公布日：2023.11.07
申請日：2023.09.19
分類號：C02F9/00(2023.01)I;C02F1/62(2023.01)N;C02F1/66(2023.01)N;C02F1/56(2023.01)N;C02F1/52(2023.01)N;C02F1/58(2023.01)N;C02F1/44(2023.01)N;C02F1
/00(2023.01)N;C02F101/14(2006.01)N;C02F101/20(2006.01)N
摘要
針對半導體廢水進行分類，半導體廢水主要由含銅，鎳，錫重金屬廢水，含氟離子廢水以及七個研磨硅片而產生的廢水，將三種廢水統一通過三組分裝池完成封裝，配合完成處理工序；可以大量的減少污水排放，減輕排放設備負擔；降低了廢水處理系統的成本；回用水作為再生資源，是以后企業污水排放及利用的發展趨勢。
權利要求書
1.一種半導體廢水處理工藝，包括一下步驟：步驟一：針對半導體廢水進行分類，半導體廢水主要由含銅，鎳，錫重金屬廢水，含氟離子廢水以及七個研磨硅片而產生的廢水，將三種廢水統一通過三組分裝池完成封裝，配合完成處理工序；銅，鎳，錫重金屬廢水的集中回收池內率先加入氫氧化鈉調節廢水的PH值，再加入硫化鈉與廢水中的鎳離子反應生成沉淀，后續將適量的聚合氯化鋁與聚丙烯酰胺添加入沉淀的廢水池內，并且池內會形成絮凝，最后將金屬硫化物添加至絮凝的廢水池內完成最終沉淀；步驟二：含氟離子廢水的集中回收池內含氟離子廢水和氯化鈣發生反應，控制PH值在10-11，保證投加過量的消石灰，通過化學反應生產了氟化鈣沉淀；進入絮凝池，投加硫酸鋁和聚丙烯酰胺，結成大片絮凝物，控制PH值在7-8之間，落在斜板沉淀池內；步驟三：研磨廢水的集中回收池內的廢水流經調節池內，檢查濁度情況；濁度合格后可無需處理；若濁度不合格，則進行回流處理，將回流的研磨廢水調節池內進行二次調節；以上步驟三的濁度控制環節循環進行，直至濁度合格為止；上述廢水分類采用了超濾膜作為顆粒以及懸浮物的分離收集結構。
2.根據權利要求1所述的半導體廢水處理工藝；其特征是：銅，鎳，錫重金屬廢水在處理過程中，需要經過砂濾去除廢水中的懸浮物雜質，最后通過樹脂對廢水進行深度處理，使廢水中的鎳濃度達到上海半導體一級污染物排放標準（<0.1mg/L);含錫廢水處理工藝與除鎳工藝相似，先用氫氧化鈉調節PH，再添加硫化鈉反應，再添加聚合氯化鋁與聚丙烯酰胺加速沉淀，砂濾，最后利用樹脂交換器進行深度處理，保證出水離子濃度達標排放。
3.根據權利要求1所述的半導體廢水處理工藝；其特征是：含氟離子廢水的集中回收池出水水質F-含量<10mg/L，符合排放標準。
4.根據權利要求1所述的半導體廢水處理工藝；其特征是：所述超濾膜具孔徑0.001μm～0.01μm，將過濾筒裝設備內部上下分層分布多組超濾膜具，從而達到逐層分離的功效。
發明內容
為達到上述目的，本發明的技術方案如下：一種半導體廢水處理工藝，包括一下步驟：步驟一：針對半導體廢水進行分類，半導體廢水主要由含銅，鎳，錫重金屬廢水，含氟離子廢水以及七個研磨硅片而產生的廢水，將三種廢水統一通過三組分裝池完成封裝，配合完成處理工序；銅，鎳，錫重金屬廢水的集中回收池內率先加入氫氧化鈉調節廢水的PH值，再加入硫化鈉與廢水中的鎳離子反應生成沉淀，后續將適量的聚合氯化鋁與聚丙烯酰胺添加入沉淀的廢水池內，并且池內會形成絮凝，最后將金屬硫化物添加至絮凝的廢水池內完成最終沉淀；步驟二：含氟離子廢水的集中回收池內含氟離子廢水和氯化鈣發生反應，控制PH值在10-11，保證投加過量的消石灰，通過化學反應生產了氟化鈣沉淀；進入絮凝池，投加硫酸鋁和聚丙烯酰胺，結成大片絮凝物，控制PH值在7-8之間，落在斜板沉淀池內；步驟三：研磨廢水的集中回收池內的廢水流經調節池內，檢查濁度情況；濁度合格后可無需處理；若濁度不合格，則進行回流處理，將回流的研磨廢水調節池內進行二次調節；以上步驟三的濁度控制環節循環進行，直至濁度合格為止；上述廢水分類采用了超濾膜作為顆粒以及懸浮物的分離收集結構。
根據權利要求1所述的半導體廢水處理工藝；其特征是：銅，鎳，錫重金屬廢水在處理過程中，需要經過砂濾去除廢水中的懸浮物雜質，最后通過樹脂對廢水進行深度處理，使廢水中的鎳濃度達到上海半導體一級污染物排放標準（<0.1mg/L);含錫廢水處理工藝與除鎳工藝相似，先用氫氧化鈉調節PH，再添加硫化鈉反應，再添加聚合氯化鋁與聚丙烯酰胺加速沉淀，砂濾，最后利用樹脂交換器進行深度處理，保證出水離子濃度達標排放。
根據權利要求1所述的半導體廢水處理工藝；其特征是：含氟離子廢水的集中回收池出水水質F-含量<10mg/L，符合排放標準，根據權利要求1所述的半導體廢水處理工藝；其特征是：所述超濾膜具孔徑0.001μm～0.01μm，將過濾筒裝設備內部上下分層分布多組超濾膜具，從而達到逐層分離的功效。
本發明的有益效果為：1、可以大量的減少污水排放，減輕排放設備負擔；2、降低了廢水處理系統的成本；3、回用水作為再生資源，是以后企業污水排放及利用的發展趨勢。
（發明人：韓波）
